在UV光氧催化氧化废气设备中增加纳米级其他活性资料，将活性资料给予紫外线照耀，活性资料可以吸收大量的光能，于外表发作鼓励进而生成h+（空穴）与e-（电子），而空穴与电子所具有的氧化复原才能，可与氧、水发作反响，迅速生成具有极强氧化才能的·%0OH（氢氧根自由基）与·%0O2-（超级阴氧离子）。·%0OH氧化电位适当高，可以氧化有机挥发性废气中的电子，推进无光吸收才能物质的氧化分化。研讨发现，在紫外光的能量以及纳米活性催化氧化作用下，有机挥发性废气在短短2-3秒的时刻内就可以被充分分化。